为了降低洁净室的消耗，从洁净室的规划、设计阶段就要考虑节能问题。降低洁净室能耗的主要途径是合理确定洁净室的面积和恰当选择洁净度等级，合理选择净化空调系统形式，准确计算冷负荷和配置节能型设备;选用先进、能耗低的公用动力系统、设备;合理确定洁净室的围护结构等。可采取的节能措施包括：

(1)厂址、总平面布置，尽量选择大气污染小，产尘量小的场地建厂，场内布置时洁净室应布置在污染少的场所并注意朝向安排。

(2)工艺平面布置时，尽量减少洁净室的面积或减少洁净度要求严格的洁净室的面积|能不设置在洁净室内的工序、设备应设在非洁净区，恰当的确定各类房间的洁净度等级，不应随意提髙洁净度要求，组织好人流、物流和安排好辅助房间，与相关专业配合选择好洁净室的形式、空间布置等。

(3)合理确定洁净室的建筑形式，减少冷量损失。

(4)优化净化空调系统空气处理过程。

(5)设法降低冷(热)负荷，主要途径有：

①减少洁净室主要设备的排气量;

②减少洁净室空调系统的泄漏量;

③降低洁净室内生产设备的散热量;

④减少洁净室内的发尘量，降低送风量;

⑤合理选用局部净化/隔离装置/微环境装置;

⑥采取措施减少系统阻力;

⑦选用能耗低，效率髙的设备;

⑧选用变风量、变频机等;

⑨加强隔热措施，选用优质隔热材料。

(6)提髙设备效率，在有可能的条件下采用热回收装置：

①采用高效冷冻机、麻、水泵和换热设备;

②合理配置设备，尽量防止大马拉辟现象;

③采用回风冷(热)量回收装置，排气冷(热)量^用装置;

④在合适的条件下采用冷冻机的冷热利用装置;

⑤生产设备的冷热量回收;

⑥合理配置公用动力设备，如采用自由冷却系统，冷热电联产等。